半導体用語集
スクラッチ
英語表記：scratch
研磨砥粒の凝集、あるいはその副生成物等の固体化によって形成された粗大粒子や混入異物等によって形成された粗大粒子や混入異物等によってウェーハ表面上に生じた引っ掻き傷のことで、製品の歩留りに大きく影響する。微細なものをマイクロスクラッチと呼び分けているが、はっきりした定義はない。
関連製品
「スクラッチ」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
