半導体用語集
ランプパワーコントロール
英語表記：lamp power control
所望の温度又は膜厚等を得るために加熱源のランプに印加する電流又は電圧の調節。制御回路の構成によりトランスやSCRなどを用いて供給される電力を調整する。
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