半導体用語集
スキャンビーム電流
英語表記：scanned beam current
イオンビームをスキャンして注入する場合のビーム電流値。スキャンした場合、イオンビームはイオン注入装置のマスクで制御された領域のみがウェーハに達するので、スポット状で照射するよりも少ない電流値となる。
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