半導体用語集
Cat CVD装置 触媒CVD装置
英語表記：catalyst CVD system
原料ガスを加熱触媒体との接触分解反応により分解することで、堆積温度の低温化や堆積膜の高品質化などを図るCVD装置。堆積に寄与する活性種の発生量が多く、ガスの利用効率が高い。
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