半導体用語集
質量分析計
英語表記：mass analyzing system
イオン源で生成される種々のイオンのうち、注入に必要なイオンを選別するための系。イオンを選別する分析マグネット、ウェーブガイド及び必要とするイオンのみを通過させる分析スリットから構成される。
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