半導体用語集
故障解析
英語表記：failure analysis
最も狭義には，故障が起きてから，そのメカニズムを明らかにするために，その発生個所の同定を行い，物理的化学的原因の究明までを行うことをいう。手段としては電気的，物理的，金属学的，化学的な解析技術を駆使する。これらの解析技術にはいわゆる故障解析技術以外の他の目的で使われている解析技術も多い。むしろ故障解析にのみ用いられる技術の方が少ない。MIL-STD-883での定義がこれに近い⋆。さらには，少し広く，最狭義の活動に加えて設計・製造面あるいは使用面の技術面ならびに管理面の原因なども解析することをいうこともある。広義に
はJIS Z 8115での定義のように故障物理とほとんど同じ意味で使われることもある⁑。
ここでは，故障解析を狭義に用いている。
⋆ MIL-STD-883での定義：「故障解析とは，報告された故障を確認し，故障モードあるいはメカニズムを明らかにするために，必要に応じ電気的特性，物理，金属学，化学的に多くの進んだ解析技術により故障後の調査をすることである。」
⁑ JIS Z 8115での定義：「アイテムの潜在的または顕在的な故障のメカニズム・発生率および故障の影響を検討し，是正処置を検討するための系統的な調査研究である。」
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