半導体用語集
インラインシステム
英語表記:inline system
個別の組立装置をライン状に接続して一貫組立装置としたもの。例えば、ダイシング装置、ダイボンダ、キュア、ワイヤボンダ、モールド装置等を順次一列に並べ、物流の投入と取り出しがそれぞれ1ヶ所に集約されたシステム。
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