キャリヤガス（carrier gas） | 半導体用語集 |半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

英語表記：carrier gas

半導体製造に使用される特殊材料ガスの濃度調整に用いられるガス。特殊材料ガスが気体の場合は希釈用として、液体もしくは固体の場合には気化および混合用として使用される。H2、N2、Ar、Heなどがある。