半導体用語集
ゼータ電位 界面同電位
英語表記：zeta potential electrokinetic potential
固体と液体の界面における電位差のうち、界面動電現象によって計測されるすべり面の電位。洗浄において、ウェーハへの粒子の付着を防ぐには、ウェーハと粒子の間に斥力が働くように、溶媒のpH調整および界面活性剤の添加により、ウェーハおよび粒子のゼータ電位を同符号で、近い値に調整するのが有効である。
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