半導体用語集
放射率
英語表記：emissivity
物体から放射される単位面積当たりのエネルギーを意味する放射発散度の当該物体と同温度の黒体からの放射発散度に対する比を放射率、または輻射率という。放射率Eは、黒体の放射率を1とした場合、黒体以外の物体の放射率は0から1の間の値となる。不純物の少ない物質で構成された十分に厚い平坦な表面の放射率は、その温度、波長および物質の種類で決まる。しかし、荒れた表面では、平坦な表面にくらべて放射率が大きくなる一般的な傾向があり、これを有効放射率と呼ぶことがある。物体からの熱放射には赤外光が含まれる。この赤外光をとらえて、温度を測定する方法を放射測温法と呼び、半導体プロセスにおいては、シリコンウェハの温度を測定する方法として広く用いられている。
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