半導体用語集
LSTD
英語表記：laser scattering tomograply defect
レーザ散乱トモグラフ法によって検出されるSiウェーハ中の微小欠陥。Siマトリックスと微小欠陥との屈折率の違いに基づく光散乱を検出する。微小酸素析出物や空孔の凝集体を微小欠陥として検出できると考えられている。
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