半導体用語集
オファクシスアライメント
英語表記：off axis alignment
投影光学系とアライメント光学系の 光軸が異なるアライメント方式のこと。また投影光学系の光軸とアライメント光学系の光軸の距離をベースラインと呼ぶ。たとえば、白色光を用いる画像処理検出法のように、露光波長とアライメント波長が異なる場合は、投影光学系とは別にアライメント光学系が別途必要となる。実際のアライメントシーケンスでは、アライメント光学系の下にウェハ上のマークパターンを移動しその座標を計測し、その後べースライン量だけウェハを移動して、投影レンズ下の所定位置に移動してレチクル上のパターンを露光する。一般にはウェハ上の最低2箇所ない し数箇所のアライメントパターンを検出し、その位置データより、ウェハ上の各パターンの位置を計算する。その後、計算された位置にウェハステージをウェハ干渉系を用いて移動し露光を行う。よって、この方式ではアライメントマーク検出から露光までに時間すれが生しるためべースラインの安定化が重要である。また、露光中はステージ位置計測のみでステージを移動するためステージ精度の向上も重要である。
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