半導体用語集
るつぼ
英語表記：crucible
結晶成長に際し原料を溶解、保持し、そこから結晶を成長させるための容器。したがって材質としては、融液と反応しないこと、不純物含有量の少ないことが望ましい。現在、シリコン結晶成長用には石英ガラスが、化合物半導体においては、窒化ホウ素などが使われている。形状は一般的には、単純な一重のものが主であるが、連続チャージ法や二重るつぼ法においては外るつぼと内るつぼの二重構造を持ち、内るつぼの側面に穴を明け、外るつぼに原料を供給し、内るつぼから結晶を引上げる、二重るつぼが使われている。また、石英ガラスはシリコンの融点近くの高温で変形するので外側に保持用のグラファイトるつぼも使われている。
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