半導体用語集
キレート剤
英語表記：chelate agent
ある配位子に２つの配位原子が存在し、ともに一つのイオンまたは原子（通常は金属イオン、金属原子）に配位して環状の化合物を形成する作用のある薬品。多座配位子、EDTA、ポリアミノカルボン酸、クエン酸などがこれにあたる。金属イオン、金属原子と反応する性質を利用して金属膜CMP用研磨液や、洗浄液の添加剤として使用される場合がある。
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