半導体用語集
キレート剤添加洗浄薬品
英語表記：chelating agent added cleaning chemical
洗浄液中の重金属不純物がウェーハ処理時に表面吸着汚染をしないように、キレート剤を添加した薬品。SCｰ1液用のアンモニア水が市販されている。この薬品で調整したSC-1液で洗浄したウェーハは通常薬品の場合よりFeやAlなどの汚染量が少なくなり、SC-2液洗浄が省略できる。
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