半導体用語集
天井フィルタシステム
英語表記：ceiling filter system
HEPAフィルタまたはULPAフィルタ、フィルタ取付フレーム、照明設備などから構成される天井全面吹出システム。主に垂直一方向流形クリーンルームに用いられ、粒子漏洩および誘引のない構造が求められる。
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