半導体用語集
天井パネル
英語表記：ceiling panel
低発塵性、平滑性、耐食性、気密性、低帯電性などの特性を持つクリーンルーム用天井材。非一方向流形クリーンルームまたは水平一方向流形クリーンルームに用いられ、垂直一方向流形クリーンルームにはこれに代って天井フィルタシステムが用いられる。
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