半導体用語集
耐震設備
英語表記：earthquake resisting device
地震時における安全確保および設備の破損防止・機能維持のために設ける地震対策設備。クリーンルーム、製造装置、設備機器などの対策例として、FFUや天井パネルの落下防止、製造装置・床パネルの耐震固定・転倒防止、床スラブ・床下支持脚の耐震補強などがある。
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