半導体用語集
ドーズ合わせ込み
英語表記：dose matching
2台以上の装置で同じ名目ドーズの注入を実施した時に生じる結果の差を許容値以下にするための作業。通常、同一条件での注入結果を比較し、装置間の差を補正するための係数を設定する。
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