半導体用語集
フッ化不動態処理
英語表記：fluorine passivation treatment
熱フッ化により金属の表面にフッ化不動態皮膜を形成させる技術。フッ化膜の化学組成は下地の金属成分に依存する。フッ素系の強腐食性ガスに対する耐腐食性ガスに優れる。
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