半導体用語集
MTBF
英語表記：mean time between failure
半導体デバイスの生産において、装置の信頼性を評価する基準のひとつ。装置が故障と故障の間に所定の機能を果たしている時間の平均値。全生産時間をその間の故障回数で割った値。この計算には生産時間のみが含まれる。ある状態から生産状態に変わろうとした時に発生する故障は、この計算に含まれる。
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