半導体用語集
吸着式ドライヤ
英語表記：absorption dryer
気体中の水分を、物理的、化学的に吸着するドライヤ。種類として、モレキュラーシーブ方式、五酸化リン方式などがある。他に低温を利用して水分を凝縮除去する冷却式ドライヤなどがある。
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