半導体用語集
目詰まり
英語表記：clogging
砥石、研磨布などの研磨用材料に形成されている溝、気孔が研磨剤または研磨屑によって埋められてしまう現象。研磨対象は半導体ウェーハに限らず一般的に見られる。溝などが目詰まりによって埋められると、一般に研磨速度が低下する。研磨速度を維持するために、ダイヤモンド砥石等で目詰まりした部分を削り取るドレッシングが併用される。研磨布で目詰まりが発生すると研磨速度が低下する以外に、研磨布表面の硬度変化や、研磨屑の残留によって加工物表面に欠陥が発生する等の不具合が生じる。目詰まりを防止するためのドレッシングには、一定時間研磨した後にドレッシングするex-situドレッシングと、研磨と同時にドレッシングするin-situドレッシングがある。
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