半導体用語集
キャリア
英語表記：wafer carrier
CMPを含むポリシングにおいて、ウェーハのような被加工物を保持し移動できる治具を総称してキャリアと呼んでいる。両面ポリシャでは上下研磨定盤に挟んでウェーハをポリシングするときにウェーハを保持する歯車のついた穴明きプレートをキャリアと呼んでいる。CMP装置ではウェーハチャックを含み研磨圧力をかけられる研磨ヘッド機構部分をキャリアと呼んでいる。
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