半導体用語集
るつぼ駆動機構
英語表記：crucible lift mechanism
るつぼとるつぼ中の融液重量を保持し、るつぼの回転と上下移動機構を設けた機構。炉体下部に取付て、ベローチューブなどにより結晶成長容器と連結している。
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