半導体用語集
イマージョンレンズ
英語表記：Immersion lens
縮小転写イオンビームリソグラフィのための縮小光学系において用いられる電界レンズの一つであり、物面側に置かれたマスクにまで電界が浸み出した電界分布を持つことで、物面から出射したイオンビームが加速されながら屈折作用を受ける軌道を取る。物面側のイオンビームの電位(運動エネルギー)と像面側のそれが異なるバイポテンシャルレンズの範疇に入るレンズでもある。通常の光学顕徴鏡において使われる液浸法と同様に、開口数を増加させることができ、また、収差も低減できるレンズである。縮小転写イオンビームリソグラフィの光学系においては、イオン源から発したヘリウムや水素イオンビームは10keV程度に加速され、マスクを均一に照射し、マスクを透過したイオンビームはイマージョンレンズに入り、空間電荷効果を抑制するために300 keV程度に加速された後、最終的には、投影レンズにより80keV程度のエネルギーでウェハを照射する。
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