半導体用語集
プロセス用排ガス処理装置
英語表記：exhaust gas abatement equipment for processor
各種CVD、イオン注入、エッチングなどの半導体製造プロセス装置から排出される毒性ガスを無毒化する装置。処理方式には吸着剤式や燃焼式などがある。
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