半導体用語集
スキャナーサイトフラットネス SFFD SFSR
英語表記：scanner site flatnesss site front least-squares subsite deviation site front least-squares subsite range
融着固定されたウェーハのFQA内に中心を含むサイトにおける、最大のサブサイトTIR及び、最大サブサイトFPD。ウェーハ表面上に設定した最小二乗法により算出した基準平面とウェーハ表面間の距離の偏差値のうち最大のものを分割域のSFSD（Subsite-FPD）、基準平面とウェーハ表面間の距離の最大値と最小値の差のうち最大のものを分割域のSFSR（Subsite-TIR）と呼ぶ。
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