半導体用語集
クリーントンネル
英語表記：clean tunnel
クリーンルーム内の一部に設けられ、ULPAフィルタなどで構成される天井面を持つトンネル形の垂直一方向流域。清浄空気はトンネル内を垂直一方向流域としたのち、全面のプロセスエリアまたは後面のサービスエリアを通過し循環される。
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