半導体用語集
パラレルダウンフローリンス
英語表記：parallel downflow rinse
浸漬リンス槽の上方より純水を供給し、槽底部に設けた多孔板を通して同じ流量でポンプ排水することにより槽内に形成される均一流速分布の下降流でリンスする方法。狭いウェーハ間隙によく水が流れ槽内に滞留部ができないため効率の良いリンスができる。
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