半導体用語集

ドナー消去 ドナーキラー

英語表記:donor annihilation donor killer

シリコン結晶またはウェーハを650℃前後の温度で短時間(0.5~1.5時間)熱処理後、450℃前後の温度領域を急速に冷却することにより、酸素ドナーを消去する方法。


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