半導体用語集
活性種 ラジカル
英語表記：activated species radical
光、熱などのエネルギーを吸収して、エネルギーの高い状態に励起され、化学反応を起こしやすい状態になっている原子や分子。エッチングガスに高周波やマイクロ波を印加するとプラズマ中に発生し、これらが被エッチング膜と反応することによってエッチングが進行する。遊離基とも呼ばれる。
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