半導体用語集
対数正規グラフ 対数正規プロット
英語表記：log-normal graph log-normal plot
半導体デバイスの特性値やばらつきなど、主に正規分布に従うか、否かを評価するグラフ。エレクトロマイグレーションの評価等に用いられる。
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