半導体用語集

対数正規グラフ 対数正規プロット

英語表記:log-normal graph log-normal plot

半導体デバイスの特性値やばらつきなど、主に正規分布に従うか、否かを評価するグラフ。エレクトロマイグレーションの評価等に用いられる。


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