半導体用語集
バッキングパッド
英語表記：backing pad
ワックスレス研磨でウェーハを保持するテンプレートの下にあってウエーハにダメージを与えないようにしつつ保持する部材。一般に柔らかいポリウレタンの発泡体が用いられる事が多い。
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