半導体用語集
素子分離
英語表記：isolation
半導体デバイスは多くの記憶単位や機能単位の集合体であるが、個々の単位素子がシリコン基板上で独立に記憶を保持したり機能を発揮するためには、電気的に相互に分離されている必要がある。このように個々の素子を電気的に他の素子から分離することを素子分離という。素子間に絶縁体である熱酸化膜を選択的に成長させるLOCOS法や、トランジスタで電気的に素子分離能を制御するフィールドシールド法などがあるが、先端極微細デバイスでは、素子間に溝を彫り酸化膜を埋め込んで素子分離を行うSTIを用いるようになって来ている。
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