半導体用語集
電子サイクロトロン 共鳴 ECR
英語表記：electron cyclotron resonance
一様磁界中で磁界に垂直な面の速度成分だけをもつ電子の等速円運動（サイクロトロン運動）に外部交番電界によるエネルギーが吸収されて電子速度が増加する現象。一般に周波数2.45GHzのマイクロ波と磁場強度87.5mTの共鳴条件を利用する。
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