半導体用語集
スロー排気 ソフト排気
英語表記：slow pumping slow roughing soft roughing
真空装置の大気圧からの真空排気工程において、コンダクタンスを絞ることにより小さな実行排気速度でゆるやかに廃棄すること。パーティクルの舞い上がり防止を目的とする。
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