半導体用語集
紫外線酸化装置
英語表記：ultraviolet-ray oxidation equipment
排水中の有機物質を紫外線照射して酸化分解処理をする装置。酸化剤として過酸化水素、次亜塩素酸ソーダ、オゾンなどを併用する場合が多い。
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