半導体用語集
接着性
英語表記：adhesion
PtとSi02などのように熱膨張係数の差が大きいものは、密着性が悪く、後の工程で膜剥離を起こすおそれがある。特に配向した結晶はストレスが大きくなりより剥離しやすくなる。その対策として主に用いられる方法としては二通りある。ーつは密着層を設けることである。通常TiやTi02を用いることが多い。もうーつの方法は成膜温度を高くしてストレスを緩和する方法である。いずれの方法も電気特性などに影響を及ぼすおそれがある。
関連製品
UV 剥離テープ「SELFA」
積水化学工業株式会社
SELFAとは高い接着性と剥離しやすさを両立させたUV剥離テープです。UV照射によりテープと被着体間にガスが発生し、密着力をゼロにして簡単に剥がすことが出来、薄く研磨されたウェハ等でもダメージ無く加工することが可能になります。耐熱性に優れた片面HS、耐熱テンポラリーボンディング材のHW、耐薬品性に優れたMPなど幅広いラインナップから最適な品番を提案させて頂きます。
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