半導体用語集
クリーンドライエア
英語表記：clean dried air
空気圧縮機で加圧した圧縮空気中の有機物、水分等の不純物を吸着剤や触媒を充填した精製器を用いて精製した空気。従来のドライエア中の不純物がppmレベルであるのに対し、ppbレベルで制御される。
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