半導体用語集
レーザリペアシステム メモリリペアシステム リダンダントメモリリペアシステム
英語表記：laser repair system memory repair system redundant memory repair system
ウェーハ上に形成されたダイのメモリ部の不良を救済するため、各ダイの必要な箇所にレーザビームを自動的に照射することで、ダイ内に予め作成されている不良救済用の冗長回路を接続可能とする装置。
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