半導体用語集
減圧気相エピタキシャル成長装置 低圧気相エピタキシャル成長装置
英語表記：reduced pressure vapor phase epitaxial growth system low pressure vapor phase epitaxial growth system
気相エピタキシャル成長を減圧状態で行う装置。ウェーハからのオートドーピングが低減することから、急峻な組成分布が得られるなどの利点がある。
関連製品
「減圧気相エピタキシャル成長装置 低圧気相エピタキシャル成長装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「減圧気相エピタキシャル成長装置 低圧気相エピタキシャル成長装置」に関連する用語が存在しません。
「減圧気相エピタキシャル成長装置 低圧気相エピタキシャル成長装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
