半導体用語集
ランプヒータ
英語表記：lamp heater
短時間（数秒～数分）に酸化を行うために放射光をウェーハに照射するために用いる白熱ランプなどの放射光熱源。タングステンハロゲンランプ、キセノンアークランプ、グラファイトヒータなどがある。
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