半導体用語集
ウエーハ加熱機構
英語表記：wafer heating mechanisum
ウエーハを加熱するために用いられるシースヒータ、赤外線ランプヒータなどの総称。大口径化に伴い面内均一な加熱性能が要求され、近年では発熱体とウエーハ裏面の間に熱媒体としてHe、Arなどのガスを用いるガス媒体加熱が重要な技術となっている。
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