半導体用語集
ピンホール漏洩
英語表記：pinhole leakage
HEPAフィルタまたはULPAフィルタのろ材、フィルタろ材とフィルタ枠との接着部などに生じたピンホールを通り、フィルタ下流側に粒子汚染物が漏れる現象。ピンホールはパーティクルカウンタの操作試験で検出される。
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