半導体用語集

ブライトエッチング

英語表記:bright etching

一般にシリコンウェーハはエッチング量が増すほど光沢度も大きくなる。このことからシリコンウェーハに対し多量のエッチングを行うこと。シリコン除去量で40μm以上のエッチングをする場合をさすことが多いが、エッチング液によっても異なる。


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