半導体用語集
二重ジャケット 冷却水配管
英語表記：double jacket condensing water system double jacket cooling water piping system
クリーンルーム内温湿度の安定化及び冷却水配管の結露防止のため、冷却水が通る内管とクリーンルームと同温の循環水が通る外管との、二重管で構成される配管設備。
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