半導体用語集
ヘリウムリークデテクタ
英語表記：helium leak detector
気密封止されたパッケージの気密度をヘリウムガスをトレーサガスとして試験する装置。パッケージを気密容器に入れヘリウムガスを注入加圧し一定時間保持した後取り出し、真空容器中でヘリウムガスの有無をヘリウム検出器で判定する。
関連製品
「ヘリウムリークデテクタ」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「ヘリウムリークデテクタ」に関連する用語が存在しません。
「ヘリウムリークデテクタ」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
