半導体用語集
電子ビーム加熱真空 蒸着装置
英語表記：electron beam evaporation system
電子ビームを蒸発材に照射して加熱し、蒸発させる電子衝撃利用の蒸着装置。この方法ではルツボが水冷されているのでルツボ材料中の不純物が蒸着膜中に混入する可能性は少なく、高融点物質や酸化物の蒸着も可能である。
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