半導体用語集
マルチチャンバ装置
英語表記：multi-chamber system
配線工程、薄膜形成工程などにおいて、個々の異るプロセスを適当に組合せ、且つ一貫した雰囲気で処理することにより、プロセスのトータル機能を向上させる目的で構成された多室の真空装置。搬送室を中心にそのまわりにプロセス室を配置する放射状タイプと、中央の搬送室とその両側にプロセス室を配置した線型タイプがある。
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